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愛德華真空泵維修
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愛德華IH系列干泵維修

發布時間:2020-05-05 11:47:50  瀏覽次數:

iH 高真空干泵 

我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵,使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和完全 封閉的水冷卻電機。

 

應用

負載鎖定

轉換

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能與優勢

優化了設施消耗

無需預防性維護

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理


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