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愛德華真空泵維修
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愛德華IGX系列干泵維修

發布時間:2020-05-05 11:50:12  瀏覽次數:

iGX 干泵真空系統

 

iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現代干泵樹立了新標準;這 使其成為了世界上最受歡迎的干泵之一,目前已在大多數 領先的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網連接,允許通過網頁查看 主要數據,同時包括一套全面的網絡選項, 可確保泵持續運轉。

 

iGX 泵的峰值速度范圍 很寬,并可以改變以適合各種應用條件,包括從清潔 到中等負載制程。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項,包括工具上、近程和遠程操作。

 

通過使用 iGX 干泵技術, 整個工廠通??梢栽谠O施成本方面實現 40%* 的節省 (與 iL/iH 干泵相比)。  

 

基于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。

 


應用

目標應用包括:

 

PVD

電介質刻蝕

導體刻蝕

金屬刻蝕

植入源

客戶也將 iGX 用于一系列 清潔和輕負載應用。

 

主要特性和優勢

低功耗和零預防性維護,可降低擁有成本

小巧輕便,可使用靈活的 安裝選項

高性能電機和變頻器驅動裝置

待機模式使用環保模式,功耗 更低

高導熱性材料和 優良設計可實現低水流量和高效冷卻 

精密陶瓷軸承 可確保高負載容量,因而更加可靠

低振動和小于 55 dB(A) 的低噪聲,可以安裝在操作中同附近

泵系列

iGX100

iGX600

iGX1000


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